Uvođenje
Čista soba je osnova kontrole zagađenja. Bez čiste sobe, dijelovi osjetljivih na zagađenje ne mogu se proizvesti masovno. U Fed-STD-2, čista soba je definirana kao soba sa filtracijom zraka, distribucijom, optimizacijom, građevinskim materijalima i opremom u kojoj se koriste posebni redovni operativni postupci za kontrolu koncentracije čestica u zraku kako bi se postigla odgovarajući nivo čistoće čestica.
Da bi se postigao dobar efekt čistoće u čistoj sobi, potrebno je ne samo da se fokusira na poduzimanje razumnih mjera za pročišćavanje klima uređaja, već i zahtijevati proces, izgradnju i druge specijalitete za poduzimanje odgovarajućih mjera: ne samo razumni dizajn, već i pažljivi izgradnju i ugradnju u skladu sa specifikacijama, kao i ispravno korištenje čiste sobe i naučnog održavanja i upravljanja. Da bi se postigao dobar učinak u čistoj sobi, iz različitih perspektiva su izgledno iz različitih perspektiva. U stvari, teško je postići idealnu koordinaciju između različitih specijaliteta, a dizajnerima je teško shvatiti kvalitetu izgradnje i ugradnje, kao i upotreba i upravljanje, posebno potonji. Što se tiče čistog mjera pročišćavanja pročišćavanja, mnogi dizajneri, ili čak građevinske stranke, često ne plaćaju dovoljno pažnje na njihove potrebne uvjete, što rezultira nezadovoljavajućim efektom čistoće. Ovaj članak nakratko govori samo o četiri potrebna uvjeta za postizanje zahtjeva za čistoću u mjere pročišćavanja čistog prostorija.
1. Čistoća dovoda zraka
Da bi se osiguralo da čistoća dovoda zraka ispunjava zahtjeve, ključ su performanse i ugradnja završnog filtra za pročišćavanje.
Izbor filtra
Završni filter sustava za pročišćavanje uglavnom prihvaća HEPA filter ili sub-hepa filter. Prema standardima moje zemlje, efikasnost HEPA filtera podijeljena je u četiri ocjene: klasa A je ≥99,9%, klasa B iznosi ≥99,9%, klasa C iznosi (za čestice ≥0,1μm) ≥99.999 % (poznat i kao ultra-hepa filteri); Sub-hepa filteri su (za čestice ≥0,5μm) 95 ~ 99,9%. Što je veća efikasnost, skuplji filter. Stoga, prilikom odabira filtra ne bismo trebali udovoljiti samo zahtjevima za čistoću zraka, već i smatramo ekonomsku racionalnost.
Iz perspektive zahtjeva za čistoću, princip je korištenje filtera sa niskim performansama za čiste sobe sa niskim nivoom i filtere visokih performansi za čiste sobe visoke razine. Generalno gledano: Visoki i srednji filtri mogu se koristiti za 1 milion nivo; Sub-Hepa ili klase A HEPA filtri mogu se koristiti za nivoe ispod 10.000 klase; Class B filtri mogu se koristiti za klasu 10.000 do 100; i klase C filtri mogu se koristiti za nivoe 100 do 1. Čini se da postoje dvije vrste filtera za odabir za svaku razinu čistoće. Hoćete li odabrati filtere visokih performansi ili niski performansi ovisi o specifičnoj situaciji: kada je zagađenje okoliša ozbiljno, ili je omjer zatvorenog ispuha veliki, ili je čista soba posebno važna i zahtijeva veći faktor sigurnosti, u ovim ili jednim Od ovih slučajeva treba odabrati filtar visoke klase; Inače se može odabrati filter niže performanse. Za čiste prostorije za koje trebaju kontrolu od 0,1 μm čestica, treba odabrati filtere klase D filtri bez obzira na koncentraciju kontrolirane čestice. Gore navedeno je samo iz perspektive filtera. U stvari, da biste odabrali dobar filter, morate u potpunosti uzeti u potpunosti u potpunosti razmotriti karakteristike čiste sobe, filtra i sistema za pročišćavanje.
Instalacija filtra
Da bi se osigurala čistoću dovoda zraka, nije dovoljno da ima samo kvalificirani filtere, ali i osigurati: a. Filter nije oštećen tokom transporta i ugradnje; b. Instalacija je uska. Da bi se postigla prva tačka, građevinsko i instalacijsko osoblje moraju biti dobro obučeni, sa znanjem instaliranja sistema za pročišćavanje i kvalificirane instalacijske vještine. Inače će biti teško osigurati da filter nije oštećen. U tom pogledu postoje duboke lekcije. Drugo, problem instalacijskog nepropusnosti uglavnom ovisi o kvaliteti instalacijske strukture. Priručnik za dizajn općenito preporučuje: Za jedan filter koristi se instalacija otvorene boje, tako da se dogodi čak i ako se dogodi istjecanje, neće procuriti u sobu; Korištenje gotove utičnice HEPA zraka, zatezanje je takođe lakše osigurati. Za zrak više filtera, gel zaptivač i brtvljenje negativnog pritiska često se koriste u posljednjih nekoliko godina.
Gel brtva mora osigurati da je zglob tečnosti uska i cjelokupni okvir na istoj horizontalnoj ravnini. Negativno brtvljenje pritiska je da se vanjska periferija zgloba napravi između filtera i statičkog pritiska i okvira u stanju negativnog pritiska. Poput instalacije otvorenog tipa, čak i ako postoji curenje, neće procuriti u sobu. Zapravo, sve dok je instalacijski okvir ravan, a lice filtera je ujednačeno ujednačen kontakt s instalacijskim okvirom, potrebno je lako napraviti filter ispunjavanje zahtjeva za ugradnju u bilo kojem tipu instalacije.
2. Organizacija protoka zraka
Organizacija protoka zraka čiste sobe razlikuje se od one opće klimatizirane sobe. Zahtijeva da se najčišći zrak prvo dostavi na operativni prostor. Njegova je funkcija ograničavati i smanjiti zagađenje procesiranim objektima. U tom cilju, slijedeći principi treba uzeti u obzir prilikom dizajniranja organizacije protoka zraka: minimizirati vrtložne struje kako bi se izbjeglo dovođenje zagađenja izvan radnog područja u radno područje; Pokušajte spriječiti sekundarnu prašinu koja leti za smanjenje šanse za prašinu koja kontaminira radni komad; Protok zraka u radnom području trebao bi biti što je moguće ujednačen, a njegova brzina vjetra treba da ispuni proces i higijenske zahteve. Kad protok zraka teče na povratnu utičnicu, prašina u zraku treba učiniti efikasno. Odaberite različite načine donošenja zraka i povratka prema različitim zahtjevima za čistoću.
Različite organizacije za protok zraka imaju svoje karakteristike i opsege:
(1). Vertikalni jednosmjerni protok
Pored zajedničkih prednosti pribavljanja uniformnog protoka prema dolje, olakšavanje procesne opreme, snažne sposobnosti samoproizvode i pojednostavljenju zajedničkih sadržaja, kao što su osobna za pročišćavanje, četiri načine za pročišćavanje, u četiri načina za pročišćavanje imaju i svoje prednosti i nedostatke: pune- Natkriveni HEPA filtri imaju prednosti malog otpora i dugog ciklusa filtera, ali stropna struktura je složena, a trošak visokog; Prednosti i nedostaci bočnog prekrivenog HEPA filtra Vrhunska isporuka i gornja isporuka ploče sa punim rupom su nasuprot onima potpuno pokrivene HEPA filter top isporuke. Među njima je među njima, gornja isporuka ploče sa punom rupom lako je akumulirati prašinu na unutrašnjoj površini otvora za otvor kada se sistem ne neprekidno radi, a loše održavanje ima neki utjecaj na čistoću; Gusta difuzor Vrhunska dostava zahtijeva miješajući sloj, tako da je pogodan samo za visoke čiste prostorije iznad 4m, a njegove karakteristike su slične vrhunskom dostavu ploče sa punom rupom; Način povratne zrake za ploču sa rešetki s obje strane i vrata povratne zrake ravnomjerno raspoređene na dnu suprotnih zidova pogodna su samo za čiste sobe s neto razmakom manje od 6m na obje strane; Izlazni otvori za povratni zrak uređeni na dnu jednog bočnog zida pogodni su samo za čiste sobe s malom udaljenosti između zidova (kao što su ≤ <2 ~ 3m).
(2). Horizontalni jednosmjerni protok
Samo prvo radno područje može dostići nivo čistoće od 100. Kad zrak teče na drugu stranu, koncentracija prašine postepeno se povećava. Stoga je pogodan samo za čiste sobe s različitim zahtjevima za čistoću za isti proces u istoj sobi. Lokalna distribucija HEPA filtera na zidu dovoda zraka može smanjiti upotrebu HEPA filtera i uštedjeti početnu investiciju, ali u lokalnim područjima postoje i EDDIES.
(3). Turbulentni protok zraka
Karakteristike gornje isporuke urođenih ploča i vrhunske isporuke gustih difuzora su iste kao što su spomenute gore: prednosti bočne isporuke lako je organizirati cjevovode, nije potreban tehnički interlayer, niski troškovi i pogoduje obnovu starih tvornica . Nedostaci su da je brzina vjetra u radnom području velika, a koncentracija prašine na stranoj stranici je veća od one na gornjoj strani; Gornja isporuka HEPA-e je jednostavnog sustava, nema cjevovoda iza HEPA filtra, a čisti protok zraka direktno se isporučuje na radno područje, ali čist protok zraka polako i zračni protok u radnom području je ujednačen; Međutim, kada su višestruki zračni otvori ravnomjerno uređeni ili se koriste HEPA filter zračni otvori s difuzovima, protok zraka u radnom području može se napraviti i uniformi; Ali kada se sistem ne radi kontinuirano, difuzor je sklon akumulaciji prašine.
Gore navedena rasprava je sve u idealnom stanju i preporučuje se relevantnim nacionalnim specifikacijama, standardima ili priručnicima za dizajn. U stvarnim projektima, organizacija protoka zraka nije dobro osmišljena zbog objektivnih uvjeta ili subjektivnih razloga dizajnera. Uobičajeni uključuju: vertikalni jednosmjerni protok usvaja povratni zrak iz donjeg dijela susjednih dva zida, lokalne klase 100 donosi gornju dostavu i gornju povratku (to je da se viseće zavjese ne dodaje pod lokalnom izlazom), a turbulentne čiste sobe usvajaju HEPA filter izlaz zraka Gornja isporuka i gornji povratak ili niži donji povratak (veći razmak između zidova) itd. Ove metode organizacije protoka zraka mjere se i većina njihove čistoće ne zadovoljava dizajn Zahtevi. Zbog trenutnih specifikacija za prazan ili statički prihvat, neke od tih čistih soba jedva dosežu dizajniranu čistoću u praznim ili statičkim uvjetima, ali sposobnost protiv zagađenja je vrlo niska, a nakon što čista soba uđe u radno stanje, to ne ispunjava zahtjeve.
Ispravna organizacija protoka zraka treba postaviti sa zavjesama koji se spuštaju na visinu radnog područja u lokalnom području, a klasa 100.000 ne bi trebala usvojiti gornju dostavu i gornju povratku. Pored toga, većina tvornica trenutno proizvodi zračne utičnice visokog učinkovitosti sa difuzorima, a njihovi difuzori su samo ukrasne orifice ploče i ne igraju ulogu difuznog protoka zraka. Dizajneri i korisnici trebali bi obratiti posebnu pažnju na ovo.
3. Zapremina opskrbe zrakom ili brzina zraka
Dovoljna volumena ventilacije je razrjeđivanje i uklanjanje zagađenog zraka u zatvorenom prostoru. Prema različitim zahtjevima za čistoću, kada je neto visina čiste sobe visoka, ventilacijska frekvencija treba na odgovarajući način povećati. Među njima je zapremina ventilacije od 1 milijuna razine čiste prostora razmatra se prema sistemu pročišćavanja visokog učinkovitosti, a ostali se razmatraju prema sistemu za pročišćavanje visokog efikasnosti; Kada su HEPA filteri čiste sobe u klasi 100.000 koncentrirani u mašini ili se na kraju sustava koriste pod-HEPA filtri na kraju sustava, frekvencija ventilacije može se na odgovarajući način povećati za 10-20%.
Za gornju ventilaciju Preporučene vrijednosti, autor vjeruje da: brzina vjetra kroz odjeljak prostorije u jednodnevnom protoku čista soba je niska, a turbulentna čista soba ima preporučenu vrijednost s dovoljnim faktorom sigurnosti. Vertikalni jednosmjerni protok ≥ 0,25m / s, horizontalni jednosmjerni protok ≥ 0,35m / s. Iako se zahtjevi za čistoće mogu ispuniti kada su testirani u praznim ili statičkim uvjetima, sposobnost protiv zagađenja je loša. Jednom kada soba uđe u radno stanje, čistoća ne može ispunjavati zahtjeve. Ova vrsta primjera nije izolirani slučaj. Istovremeno, nema ventilatora pogodnih za sustave pročišćavanja u seriji ventilacije moje zemlje. Generalno, dizajneri često ne prave tačne otpornosti na vazdušni sistem ili ne primeti da li je odabrani ventilator na povoljnijem radnoj točki na karakterističnom krivulji, što rezultira da ubrzo ne uspije do promjene zraka ili brzinom vjetra koji ne uspije nakon što se sistem stavi u rad. Savezni standard SAD-a (FS209A ~ b) odredio je da se brzina protoka zraka jednosmjerna čista soba kroz čistu sobu presjek obično održava na 90ft / min (0,45m / s), a brzina nejednakog je unutar ± 20% pod uvjetom bez smetnji u cijelu sobu. Svako značajno smanjenje brzine protoka zraka povećavat će mogućnost samočišćenja i zagađenja između radnih mjesta (nakon proglašenja FS209C u oktobru 1987. godine, nisu napravljeni propisi za sve pokazatelje parametara osim koncentracije prašine osim koncentracije prašine).
Iz tog razloga, autor vjeruje da je prikladno na odgovarajući način povećati trenutnu domaću dizajnu vrijednost jednosmjernog brzine protoka. Naša jedinica to je učinila u stvarnim projektima, a učinak je relativno dobar. Turbulentna čista soba ima preporučenu vrijednost s relativno dovoljnim sigurnosnim faktorom, ali mnogi dizajneri još uvijek nisu sigurni. Prilikom izrade specifičnih dizajna, oni povećavaju zapreminu ventilacije čiste prostora od klase 100 000 do 20-25 puta / h, klase 10.000 čiste prostora do 30-40 puta / h, a Class 1000 čista soba do 60-70 puta / h. To ne samo povećava kapacitet opreme i početno ulaganje, već i povećava buduće troškove održavanja i upravljanja. U stvari, nema potrebe za to. Prilikom sastavljanja tehničkih mjera za čišćenje zraka moje zemlje, više od čiste prostora u Kini je istraženo i odmjereno. Mnoge čiste sobe testirane su u dinamičnim uvjetima. Rezultati su pokazali da ventilacijske količine klase 100.000 čiste sobe ≥10 Times / H, klase 10.000 čistih prostorija ≥20 Times / H i Class 1000 čiste sobe ≥50 puta / h mogu udovoljiti zahtjevima. Savezni standard SAD-a (FS2O9A ~ b) predviđa: ne-jednosmjerne čiste sobe (klase 100.000, klase 10.000), visina sobe 8 ~ 12ft (2,44 ~ 3,66m), obično smatra da se cijela soba barem jednom u razmatraju svake 3 minute obično (tj. 20 puta / h). Stoga je specifikacija dizajna uzela u obzir veliki višak koeficijenta, a dizajner može sigurno birati prema preporučenoj vrijednosti zapremine ventilacije.
4. Statička razlika tlaka
Održavanje određenog pozitivnog pritiska u čistoj sobi jedan je od bitnih uslova kako bi se osiguralo da čista soba nije ili manje zagađena za održavanje dizajnirane čistoće. Čak i za negativne tlačne prostorije, mora imati susjedne prostorije ili apartmane s razinom čistoće koji nisu niži od razine za održavanje određenog pozitivnog pritiska, tako da se može održavati čistoća negativne tlačne prostorije tlaka.
Pozitivna vrijednost tlaka čiste prostora odnosi se na vrijednost kada je zatvoreni statički tlak veći od vanjskog statičkog tlaka kada su sva vrata i prozori zatvoreni. Postiže se metodom da je volumen opskrbe zrakom veći od povratne jačine zraka i zapremine ispušnog zraka. Kako bi se osigurala pozitivna vrijednost tlaka čiste sobe, navijači za dovod, povratak i izduvne posude poželjno se međusobno miješaju. Kad je sistem uključen, prvoplasirani navajanje je prvo pokrenut, a zatim pokrenuti povratni i ispušni ventilatori; Kad se sistem isključi, ventilator izduva se prvo isključuje, a zatim su obožavatelji povratka i snabdevanja da biste spriječili da se čista soba kontaminira kada je sistem uključen i isključen.
Zapremina zraka potreban za održavanje pozitivnog tlaka čiste sobe uglavnom se određuje nepropusnošću strukture održavanja. U ranim danima čiste izgradnje prostorije u mojoj zemlji, zbog lošeg prozore strukture kućišta, trebalo je 2 do 6 puta / h dovoda zraka za održavanje pozitivnog pritiska ≥5pa; Trenutno je dobro poboljšanje vodosnažnosti strukture održavanja, a potrebno je samo 1 do 2 puta / h dovoda zraka za održavanje istog pozitivnog pritiska; i potrebno je samo 2 do 3 puta / h dovoda zraka za održavanje ≥10pa.
Specifikacije dizajna moje zemlje [6] određuju da statička razlika tlaka između čistih prostorija različitih razreda i između čistih područja i ne čistih područja ne bi trebala biti manja od 0,5 mm H2O (~ 5pa), te statička razlika u obliku čistog područja A na otvorenom ne bi trebali biti manji od 1,0 mm H2O (~ 10PA). Autor vjeruje da se čini da je ta vrijednost preniska iz tri razloga:
(1) Pozitivan pritisak odnosi se na sposobnost čiste sobe za suzbijanje zagađenja zraka u zatvorenom prostoru kroz praznine između vrata i prozora ili da bi se umanjilo zagađivače koje prodire u sobu kada se vrata i prozori nakratko otvore. Veličina pozitivnog tlaka ukazuje na snagu sposobnosti za suzbijanje zagađenja. Naravno, veći je pozitivan pritisak, to bolje (o čemu će se raspravljati kasnije).
(2) Zapremina zraka potreban za pozitivan pritisak je ograničen. Zapremina zraka potreban za 5PA pozitivni pritisak i 10Pa pozitivan pritisak samo je otprilike 1 put / h drugačije. Zašto ne? Očigledno je da je bolje poduzeti donju granicu pozitivnog pritiska kao 10PA.
(3) Savezni standard SAD-a (FS209a ~ b) predviđa da su kada su svi ulazi i izlazi zatvoreni, minimalna pozitivna razlika u obliku tlaka između čiste sobe i bilo koje susjedne male čistoće 0,05 inča (12.5PA). Ova vrijednost su usvojile mnoge zemlje. Ali pozitivna vrijednost tlaka čiste sobe nije veća, to je bolji. Prema stvarnim inženjerskim testovima naše jedinice duže od 30 godina, kada je pozitivna vrijednost tlaka ≥ 30pa, teško je otvoriti vrata. Ako zatvorite vrata bezbrižno, napravit će prasak! To će uplašiti ljude. Kada je vrijednost pozitivne tlake ≥ 50 ~ 70pa, praznine između vrata i prozora učinit će zvižduk, a slabi ili oni s nekim neprimjerenim simptomima osjećat će se neugodno. Međutim, relevantne specifikacije ili standardi mnogih zemalja u zemlji i inostranstvu ne određuju gornju granicu pozitivnog pritiska. Kao rezultat toga, mnoge jedinice nastoje zadovoljiti zahtjeve donje granice, bez obzira na to koliko je gornja granica. U stvarnoj čistoj sobi koja je nailazila autor, pozitivna vrijednost tlaka je visoka kao 100pa ili više, što rezultira vrlo lošim efektima. U stvari, prilagođavanje pozitivnog pritiska nije teška stvar. Sasvim je moguće kontrolirati ga u određenom rasponu. Došlo je do dokumenta koji je uvodio da određena zemlja u istočnoj Europi predviđa pozitivnu vrijednost pritiska kao 1-3 mm H20 (oko 10 ~ 30pa). Autor vjeruje da je ovaj raspon prikladniji.
Pošta: Feb-13-2025