1. Unutar čiste sobe, različite vrste prostorija za skladištenje i distribuciju hemikalija trebaju biti postavljene na osnovu zahtjeva proizvodnog procesa i fizičkih i hemijskih svojstava hemikalije. Cjevovodi trebaju koristiti opskrbu proizvodnom opremom potrebnim hemikalijama. Prostorije za skladištenje i distribuciju hemikalija unutar čiste sobe obično se nalaze u pomoćnom proizvodnom prostoru, obično u prizemlju jednokatne ili višekatne zgrade, blizu vanjskog zida. Hemikalije treba skladištiti odvojeno prema njihovim fizičkim i hemijskim svojstvima. Nekompatibilne hemikalije treba smjestiti u odvojene prostorije za skladištenje i distribuciju hemikalija, odvojene čvrstim pregradama. Opasne hemikalije treba skladištiti u odvojenim skladišnim ili distribucijskim prostorijama sa vatrootpornošću od najmanje 2,0 sata između susjednih prostorija. Ove prostorije trebaju biti smještene u prostoriji na prvom spratu proizvodne zgrade, blizu vanjskog zida.
2. Čiste sobe u elektroničkoj industriji često imaju skladišne i distribucijske prostorije za kiseline i alkalije, kao i za zapaljive rastvarače. Prostorije za skladištenje i distribuciju kiselina obično sadrže sisteme za skladištenje i distribuciju sumporne kiseline, fosforne kiseline, fluorovodonične kiseline i hlorovodonične kiseline. Prostorije za skladištenje i distribuciju alkalija obično sadrže sisteme za skladištenje i distribuciju natrijum hidroksida, hidroksidnog kolača, amonijum hidroksida i tetrametilamonijum hidroksida. Prostorije za skladištenje i distribuciju zapaljivih rastvarača obično sadrže sisteme za skladištenje i distribuciju organskih rastvarača kao što je izopropil alkohol (IPA). Čiste sobe u pogonima za proizvodnju integrisanih pločica također imaju skladišne i distribucijske prostorije za polirni mulj. Prostorije za skladištenje i distribuciju hemikalija obično se nalaze u pomoćnim proizvodnim ili pomoćnim prostorima u blizini ili pored čistih proizvodnih prostora, obično na prvom spratu sa direktnim pristupom vanjskom prostoru.
3. Prostorije za skladištenje i distribuciju hemikalija opremljene su bačvama ili rezervoarima za skladištenje različitih kapaciteta, na osnovu vrste, količine i karakteristika upotrebe hemikalija potrebnih za proizvodnju proizvoda. Prema standardima i propisima, hemikalije treba skladištiti odvojeno i klasifikovati. Kapacitet bačvi ili rezervoara koji se koriste treba biti dovoljan za sedmodnevnu potrošnju hemikalija. Treba obezbijediti i dnevne bačve ili rezervoare, sa kapacitetom dovoljnim da pokriju 24-satnu potrošnju hemikalija potrebnih za proizvodnju proizvoda. Prostorije za skladištenje i distribuciju zapaljivih rastvarača i oksidirajućih hemikalija trebaju biti odvojene od susjednih prostorija čvrstim vatrootpornim zidovima sa vatrootpornošću od 3,0 sata. Ako se nalaze na prvom spratu višespratne zgrade, trebaju biti odvojene od ostalih prostora nezapaljivim podovima sa vatrootpornošću od najmanje 1,5 sati. Centralizovana kontrolna soba za sistem hemijske sigurnosti i praćenja unutar čiste sobe treba da se nalazi u posebnoj prostoriji.
4. Visina prostorija za skladištenje i distribuciju hemikalija unutar čiste sobe treba se odrediti na osnovu zahtjeva za opremu i raspored cjevovoda i uglavnom ne bi trebala biti manja od 4,5 metara. Ako se nalazi unutar pomoćnog proizvodnog prostora čiste sobe, visina prostorije za skladištenje i distribuciju hemikalija treba biti u skladu s visinom zgrade.
Vrijeme objave: 01.08.2025.