OPĆE KARAKTERISTIKE ČISTIH SOBA SA ČISTIM SISTEMOM VISOKE ČISTOĆE

1. Karakteristike dizajna

Zbog zahtjeva funkcionalizacije, miniaturizacije, integracije i preciznosti čipova, zahtjevi dizajna čistih soba za čipove za proizvodnju značajno se razlikuju od onih u općim tvornicama.

(1) Zahtjevi za čistoću: Okruženje za proizvodnju čipsa ima visoke zahtjeve za kontrolu broja čestica u zraku;

(2) Zahtjevi za hermetičnost: Smanjiti strukturne praznine i ojačati hermetičnost struktura sa prazninama kako bi se smanjio utjecaj curenja zraka ili zagađenja;

(3) Zahtjevi fabričkog sistema: Specijalni energetski i elektromehanički sistemi zadovoljavaju potrebe procesnih mašina, kao što su specijalni gasovi, hemikalije, čista otpadna voda itd.;

(4) Zahtjevi za zaštitu od mikrovibracija: Obrada čipa zahtijeva visoku preciznost, a utjecaj vibracija na opremu treba smanjiti;

(5) Zahtjevi za prostor: Tlocrt fabrike je jednostavan, s jasnim funkcionalnim podjelama, skrivenim cjevovodima i razumnom raspodjelom prostora, što omogućava fleksibilnost prilikom ažuriranja proizvodnih procesa i opreme.

2. Fokus na građevinarstvo

(1). Kraći period izgradnje. Prema Murovom zakonu, gustina integracije čipova će se u prosjeku udvostručavati svakih 18 do 24 mjeseca. S ažuriranjem i iteracijom elektronskih proizvoda, ažurirat će se i potražnja za proizvodnim pogonima. Zbog brzog ažuriranja elektronskih proizvoda, stvarni vijek trajanja čistih elektronskih pogona je samo 10 do 15 godina.

(2). Viši zahtjevi za organizaciju resursa. Elektronske čiste sobe uglavnom imaju veliki obim gradnje, kratak period gradnje, blisko isprepletene procese, otežan promet resursa i koncentriraniju potrošnju glavnog materijala. Takva stroga organizacija resursa rezultira visokim pritiskom na cjelokupno upravljanje planom i visokim zahtjevima za organizaciju resursa. U fazi temelja i glavne faze, to se uglavnom odražava na radnu snagu, čelične šipke, beton, materijale okvira, mehanizme za dizanje itd.; U fazi elektromehanike, dekoracije i instalacije opreme, to se uglavnom odražava na zahtjeve gradilišta, razne cijevi i pomoćne materijale za građevinske mašine, posebnu opremu itd.

(3). Visoki zahtjevi za kvalitetom gradnje uglavnom se ogledaju u tri aspekta: ravnosti, hermetičnosti i niske prašine. Pored zaštite precizne opreme od oštećenja iz okoline, vanjskih vibracija i rezonancije okoline, stabilnost same opreme je podjednako važna. Stoga je zahtjev za ravnošću poda 2 mm/2 m. Osiguranje hermetičnosti igra značajnu ulogu u održavanju razlike pritiska između različitih čistih područja i na taj način kontroliše izvore zagađenja. Strogo kontrolišite čišćenje čiste sobe prije ugradnje opreme za filtriranje i klimatizaciju zraka i kontrolišite spojeve sklone prašini tokom pripreme gradnje i izgradnje nakon ugradnje.

(4) Visoki zahtjevi za upravljanje i koordinaciju podizvođača. Proces izgradnje elektroničkih čistih soba je složen, visoko specijaliziran, uključuje mnogo posebnih podizvođača i ima širok raspon međusobnih operacija između različitih disciplina. Stoga je potrebno koordinirati procese i radne površine svake discipline, smanjiti međusobne operacije, shvatiti stvarne potrebe primopredaje interfejsa između disciplina i dobro koordinirati i upravljati glavnim izvođačem radova.