Stopa prinosa čipa u industriji prerade IC usko je povezana s veličinom i brojem čestica zraka deponovanih na čipu. Dobra organizacija za protok zraka može oduzeti čestice koje su iznijeli izvor prašine iz čiste sobe kako bi se osigurala čistoću čiste sobe, odnosno zračni protok u čistoj sobi igra vitalnu ulogu u stopi prinosa. Dizajn organizacije za protok zraka u čistoj sobi treba postići sljedeće ciljeve: smanjiti ili eliminirati vrtlaru u polje protoka kako bi se izbjeglo zadržavanje štetnih čestica; Održavajte odgovarajući pozitivni gradijent pritiska kako biste spriječili unakrsnu kontaminaciju.
Sila protoka zraka
Prema čistom principu prostorije, snage koje djeluju na čestice uključuju masovnu silu, molekularne sile, atrakciju između čestica, protoka zraka itd.
Sila protoka zraka: odnosi se na silu protoka zraka uzrokovanog dostavljanjem, povratnim protokom zraka, termički konvekcijski protok zraka, umjetnog miješanja i drugih zraka s određenim brzinama protoka za nošenje čestica. Za tehničku kontrolu čistog okruženja prostorije, snaga protoka zraka najvažniji je faktor.
Eksperimenti su pokazali da u pokretu protoka zraka čestice slijede pokret protoka zraka gotovo iste brzine. Stanje čestica u zraku određuje se distribucijom protoka zraka. Zračni protoci koji utječu na unutarnje čestice uključuju: protok zraka za dovod zraka (uključujući primarni protok zraka i sekundarnog zraka), protok zraka i toplotnog konvekcijskog zraka uzrokovane pješačenjem i industrijskom opremom. Različite metode napajanja zraka, sučelja brzine, operateri i industrijska oprema i inducijske pojave u čistim sobama su svi faktori koji utječu na nivo čistoće.
Čimbenici koji utječu na organizaciju protoka zraka
1. Uticaj metode napajanja zraka
(1). Brzina dovoda zraka
Da bi se osigurao ravnomjeran protok zraka, brzina dovoda zraka mora biti ujednačena u jednosmjernom čistu sobu; mrtva zona površine dovoda zraka mora biti mala; a pad tlaka u ULPA također mora biti ujednačen.
Ujednačena brzina napajanja zraka: odnosno neravnina protoka zraka kontrolira se u krugu od ± 20%.
Manje mrtve zone na površini za dovod zraka: Ne samo da bi se avioni dio ulpA ulpa ne bude smanjen, ali što je još važnije, modularni FFU treba usvojiti kako bi se pojednostavio suvišni okvir.
Da biste osigurali vertikalni jednosmjerni protok zraka, odabir pada tlaka filtra je također vrlo važan, zahtijevajući da gubitak pritiska u filtru ne može odstupiti.
(2). Poređenje FFU sistema i sistem ventilatora aksijalnog protoka
FFU je jedinica za dovod zraka sa ventilatorom i filtrom (ULPA). Nakon što se zrak usisava centrifugalnim ventilatorom FFU-a, dinamički tlak se pretvara u statički pritisak u zračnom kanalu i ravnomjerno izbaci ulpa. Pritisak na dovodu zraka na plafon je negativan pritisak, tako da se u čistu sobu ne iscuri u čistu sobu kada se filter zamijeni. Eksperimenti su pokazali da je FFU sustav superiorniji od sustava ventilatora aksijalnog protoka u pogledu uniformnosti zraka, paralelizma protoka zraka i indeksa efikasnosti ventilacije. To je zato što je paralelizam protoka zraka u FFU sistemu bolji. Upotreba FFU sistema može učiniti protok zraka u čistoj sobi bolje organiziran.
(3). Uticaj vlastite strukture FFU-a
FFU se uglavnom sastoji od ventilatora, filtera, uređaja vodiča za protok zraka i drugih komponenti. Ultra visoki efikasni filter ULPA je najvažnija garancija za čistu sobu može postići potrebnu čistoću dizajna. Materijal filtera također će utjecati na uniformnost polja protoka. Kad se u utičnicu filtra dodaje grubi filtar ili laminarsku ploču toka, polje izlaznog protoka može se lako napraviti ujednačeno.
2. Uticaj različitih sučelja brzine čistoće
U istoj čistoj sobi, između radnog područja i neradnog područja vertikalnog jednosmjernog protoka, zbog razlike u brzini zraka na ULPO-u, u sučelju će se generirati mješoviti vrtložni efekt, a ovo će sučelje postati turbulentno Zona protoka zraka s posebno visokim intenzitetom turbulencije zraka. Čestice se mogu prenijeti na površinu opreme i kontaminirati opremu i vaflere.
3. Uticaj osoblja i opreme
Kad je čista soba prazna, karakteristike protoka zraka u sobi uglavnom zadovoljavaju zahtjeve za dizajn. Nakon što oprema uđe u čistu sobu, prenose se potez osoblja i proizvodi, neizbježno će biti prepreke organizaciji protoka zraka. Na primjer, na izbočenim uglovima ili rubovima opreme, plin će se preusmjeriti da bi se formirao turbulentna zona, a tekućina u zoni se ne vodi lako po plinu, uzrokujući tako zagađenje. Istovremeno, površina opreme zagrijat će se zbog kontinuiranog rada, a gradijent temperature uzrokovati zona zvona u blizini stroja, koja će povećati nakupljanje čestica u zoni reflektora. Istovremeno, visoka temperatura lako će uzrokovati pobjeći čestice. Dvostruki učinak pogoršava poteškoće u kontroli cjelokupne vertikalne čistoće laminara. Prašina od operatora u čistu prostoriju vrlo se lako pridržava vafla u tim zonama zvona.
4. Uticaj povratnog vazduha
Kada se otpor povratnog zraka prolazi kroz pod, razlikuje se, razlika tlaka, tako da će zrak teći u smjeru manje otpora, a ujednačen protok zraka neće se dobiti. Trenutna popularna metoda dizajna je korištenje povišenih podova. Kada je stopa otvaranja povišenih podova 10%, brzina protoka zraka u radnoj visini sobe može se ravnomjerno rasporediti. Pored toga, stroga pažnja treba posvetiti čišćenju rada na smanjenju izvora zagađenja poda.
5. Indukcijski fenomen
Takozvani fenomen indukcije odnosi se na fenomen da se stvara protok zraka u suprotnom smjeru ujednačenog protoka, a prašina proizvedena u sobi ili prašinu u susjednom kontaminiranom području inducirana je na gorjuću stranu, tako da prašina može kontaminirati čip. Sledeći su mogući inducijski pojave:
(1). Slijepa ploča
U čistoj sobi sa vertikalnim jednosmjernim protokom, zbog zglobova na zidu uglavnom postoje velike slijepe ploče koje će generirati turbulencije u lokalnom povratku.
(2). Lampe
Rasvjetni čvorovi u čistu sobu imat će veći utjecaj. Budući da toplina fluorescentnih svjetiljki uzrokuje porast protoka zraka, neće biti turbulentnog područja ispod fluorescentnih svjetiljki. Općenito, lampe u čistoj sobi dizajnirane su u obliku suza da bi se smanjili utjecaj svjetiljki na organizaciju protoka zraka.
(3.) praznine između zidova
Kada postoje praznine između particija s različitim nivoima čistoće ili između particija i stropova, prašina iz područja s niskim čistoćnim zahtjevima može se prenijeti na susjednu površinu sa velikim zahtjevima za čistoću.
(4). Udaljenost između stroja i poda ili zida
Ako je jaz između stroja i poda ili zida vrlo mali, prouzročit će se turbulenciju. Stoga ostavite jaz između opreme i zida i podignite uređaj da ne biste pustili da uređaj dodirne tlo direktno.
Vrijeme post: februar-05-2025