Pored stroge kontrole čestica, elektronska čista soba predstavljena radionicama za čip, integrirane radionice bez prašine i radionice za proizvodnju diska također imaju strože zahtjeve za kontrolu temperature i vlage, osvjetljenje i mikro šok. Strogo uklonite utjecaj statičkog elektriciteta na proizvodne proizvode, tako da okoliš može udovoljiti zahtjevima za proizvodnju elektroničkih proizvoda u čistoj okolini.
Temperatura i vlažnost elektronske čiste sobe trebaju se odrediti u skladu sa zahtjevima proizvodnje procesa. Kada ne postoje posebni zahtjevi za proizvodni proces, temperatura može biti 20-26 ° C, a relativna vlaga je 30% -70%. Temperatura osoblja čiste sobe i dnevnog boravka mogu biti 16-28 ℃. Prema kineskom nacionalnom standardu GB-50073, koji je u skladu s međunarodnim ISO standardima, nivo čistoće ove vrste čiste sobe je 1-9. Među njima, klasa 1-5, uzorak protoka zraka je jednosmjerni protok ili mješoviti protok; Uzorak protoka zraka klase 6 je ne-jednosmjerni protok i promjena zraka je 50-60 puta / h; Tip protoka zraka klase 7 je ne-jednosmjerni protok, a promjena zraka je 15-25 puta / h; Vrsta protoka zraka klase 8-9 je ne-jednosmjerni protok, promjena zraka je 10-15 puta / h.
Prema trenutnim specifikacijama, nivo buke unutar klase 10.000 elektronske čiste sobe ne bi trebalo biti veće od 65dB (a).
1. Potpuni omjer vertikalnog protoka čiste sobe u elektroničkoj čistoj sobi ne smije biti manji od 60%, a horizontalna jednosmjerna toka čista soba ne smije biti manja od 40%, u protivnom će biti djelomični jednosmjerni protok.
2. Statička razlika tlaka između elektronske čiste sobe i na otvorenom ne bi trebala biti manja od 10pa, a statička razlika tlaka između čistih područja i ne čišćenja zraka ne bi trebala biti manja od 5PA.
3. Količina svježeg zraka u elektroničkoj čistoj sobi Class 10000 trebalo bi da preuzme vrijednost sljedećih dva predmeta.
4. Nadoknaditi zbroj zapremine zatvorenog ispušnog zraka i jačinu svježeg zraka potreban za održavanje unutarnjeg pozitivnog tlaka.
5. Provjerite je li količina svježeg zraka koji se isporučuje u čistu sobu po osobi na sat ne manja od 40 četvornih metara.
Pošta: Apr-08-2024