Osim stroge kontrole čestica, elektronska čista soba koju predstavljaju radionice za proizvodnju čipova, radionice za zaštitu od prašine integriranih kola i radionice za proizvodnju diskova također imaju strožije zahtjeve za kontrolu temperature i vlažnosti, osvjetljenje i mikro-šokove.Strogo uklonite utjecaj statičkog elektriciteta na proizvodne proizvode, tako da okoliš može ispuniti zahtjeve proizvodnog procesa elektronskih proizvoda u čistom okruženju.
Temperaturu i vlažnost elektronske čiste prostorije treba odrediti prema zahtjevima proizvodnog procesa.Kada ne postoje posebni zahtjevi za proces proizvodnje, temperatura može biti 20-26°C, a relativna vlažnost 30%-70%.Temperatura čiste sobe i dnevnog boravka za osoblje može biti 16-28℃.Prema kineskom nacionalnom standardu GB-50073, koji je u skladu sa međunarodnim ISO standardima, nivo čistoće ove vrste čistih soba je 1-9.Među njima, klase 1-5, obrazac strujanja zraka je jednosmjerni ili mješoviti tok;Klasa 6 uzorak strujanja vazduha je nejednosmjeran protok i izmjena zraka je 50-60 puta/h;tip protoka vazduha klase 7 je nejednosmjeran protok, a izmjena zraka je 15-25 puta/h;Klasa 8-9 tip protoka vazduha je nejednosmerni protok, promena vazduha je 10-15 puta/h.
Prema trenutnim specifikacijama, nivo buke unutar elektronske čiste sobe klase 10.000 ne bi trebao biti veći od 65 dB(A).
1. Puni omjer vertikalnog protoka čiste sobe u elektronskoj čistoj sobi ne smije biti manji od 60%, a horizontalni jednosmjerni protok čiste sobe ne smije biti manji od 40%, inače će to biti djelomični jednosmjerni tok.
2. Razlika statičkog pritiska između elektronske čiste sobe i spoljašnje prostorije ne bi trebalo da bude manja od 10 Pa, a razlika statičkog pritiska između čistih i nečistih područja sa različitom čistoćom vazduha ne bi trebalo da bude manja od 5 Pa.
3. Količina svježeg zraka u elektronskoj čistoj prostoriji klase 10000 trebala bi imati vrijednost sljedeće dvije stavke.
4. Kompenzujte zbir unutrašnjeg odvodnog vazduha i zapremine svežeg vazduha potrebnog za održavanje vrednosti pozitivnog pritiska u zatvorenom prostoru.
5. Osigurajte da količina svježeg zraka koja se dovodi u čistu prostoriju po osobi na sat nije manja od 40 kvadratnih metara.
Vrijeme objave: Apr-08-2024