Zaštiti okoliša se posvećuje sve više pažnje, posebno s porastom maglovitog vremena. Inženjering čistih soba jedna je od mjera zaštite okoliša. Kako koristiti inženjering čistih soba za dobar posao u zaštiti okoliša? Razgovarajmo o kontroli u inženjeringu čistih soba.
Kontrola temperature i vlažnosti u čistoj sobi
Temperatura i vlažnost čistih prostora uglavnom se određuju na osnovu procesnih zahtjeva, ali prilikom ispunjavanja procesnih zahtjeva treba uzeti u obzir ljudsku udobnost. S poboljšanjem zahtjeva za čistoću zraka, postoji trend strožih zahtjeva za temperaturu i vlažnost u procesu.
Kao općenita pretpostavka, zbog sve veće preciznosti obrade, zahtjevi za raspon temperaturnih fluktuacija postaju sve manji i manji. Na primjer, u procesu litografije i ekspozicije u proizvodnji integriranih kola velikih razmjera, razlika u koeficijentu toplinskog širenja između staklenih i silicijumskih pločica koje se koriste kao materijali za maske postaje sve manja.
Silicijumska pločica prečnika 100 μm uzrokuje linearno širenje od 0,24 μm kada temperatura poraste za 1 stepen. Stoga je neophodna konstantna temperatura od ± 0,1 ℃, a vrijednost vlažnosti je uglavnom niska jer će se proizvod kontaminirati nakon znojenja, posebno u radionicama za poluprovodnike koje se boje natrijuma. Ova vrsta radionice ne bi trebala prelaziti 25 ℃.
Prekomjerna vlažnost uzrokuje više problema. Kada relativna vlažnost pređe 55%, kondenzacija će se formirati na stijenci cijevi za hlađenje. Ako se pojavi u preciznim uređajima ili krugovima, može uzrokovati razne nezgode. Kada je relativna vlažnost 50%, lako dolazi do hrđanja. Osim toga, kada je vlažnost previsoka, prašina koja se lijepi za površinu silicijumske pločice će se hemijski adsorbovati na površinu putem molekula vode u zraku, što je teško ukloniti.
Što je veća relativna vlažnost, to je teže ukloniti adheziju. Međutim, kada je relativna vlažnost ispod 30%, čestice se također lako adsorbiraju na površini zbog djelovanja elektrostatičke sile, te je veliki broj poluprovodničkih uređaja sklon kvaru. Optimalni temperaturni raspon za proizvodnju silicijumskih pločica je 35-45%.
Zračni pritisakkontrolau čistoj sobi
Za većinu čistih prostora, kako bi se spriječilo prodiranje vanjskog zagađenja, potrebno je održavati unutrašnji pritisak (statički pritisak) višim od vanjskog pritiska (statičkog pritiska). Održavanje razlike pritiska treba uglavnom biti u skladu sa sljedećim principima:
1. Pritisak u čistim prostorima treba biti viši nego u nečistim prostorima.
2. Pritisak u prostorima sa visokim nivoom čistoće treba da bude viši nego u susednim prostorima sa niskim nivoom čistoće.
3. Vrata između čistih soba trebaju se otvarati prema sobama s visokim nivoom čistoće.
Održavanje razlike pritiska zavisi od količine svježeg vazduha, koji bi trebao biti u stanju da kompenzuje curenje vazduha iz praznine pod ovom razlikom pritiska. Dakle, fizičko značenje razlike pritiska je otpor curenju (ili infiltraciji) protoka vazduha kroz različite praznine u čistoj prostoriji.
Vrijeme objave: 21. jul 2023.