Zaštita okoliša se isplaćuje sve veća pažnja, posebno sa povećanjem vremenskih prilika u izmažnosti. Očista uštećenje je jedna od mjera zaštite okoliša. Kako koristiti čistu sobu inženjering za dobar posao u zaštiti okoliša? Hajde da razgovaramo o kontroli u programu Clean Sobe Inženjering.
Kontrola temperature i vlage u čistoj sobi
Temperatura i vlažnost čistih prostora uglavnom se određuju na temelju zahtjeva za procesima, ali kada treba uzeti u obzir zahtjeve za postupcima u susretu, ljudska udobnost. Uz poboljšanje zahtjeva za čistoće zraka, postoji trend strožijih zahtjeva za temperaturu i vlažnost u procesu.
Kao opći princip, zbog sve veće preciznosti obrade, uslovi za temperaturni raspon fluktuacije postaju manji i manji. Na primjer, u procesu litografije i izloženosti velikog integriranog kruga, razlika u toplinskom koeficijentu proširenja između stakla i silikonskih kafića koji se koriste kao materijali za masku postaju sve male.
Silicijum rezanci s promjerom od 100 μ m uzrokuje linearnu ekspanziju od 0,24 μ m kada temperatura raste za 1 stepen. Stoga je potrebna stalna temperatura od ± 0,1 ℃, a vrijednost vlage je uglavnom niska jer nakon znojenja, proizvod će biti kontaminiran, posebno u poluvodičkim radionicama koje se plaše natrijuma. Ova vrsta radionice ne bi trebala prelaziti 25 ℃.
Prekomjerna vlaga uzrokuje više problema. Kada relativna vlaga prelazi 55%, kondenzacija će se formirati na zidu cijevi za hlađenje vode. Ako se pojavi u preciznim uređajima ili sklopovima, može izazvati različite nesreće. Kada je relativna vlaga 50%, lako je hrđati. Pored toga, kada je vlaga previsoka, prašina koja se pridržava površine silikonskog vafla bit će hemijski adsorbirana na površini kroz molekule vode u zraku, što je teško ukloniti.
Što je veća relativna vlaga, teže je ukloniti adheziju. Međutim, kada je relativna vlaga ispod 30%, čestice se lako lako oglašavaju na površini zbog djelovanja elektrostatičke sile, a veliki broj poluvodičkih uređaja sklon je kvaru. Optimalni temperaturni raspon za proizvodnju silikonskih vafla je 35-45%.
Vazdušni pritisakkontrolaU čistoj sobi
Za većinu čistih prostora, kako bi se spriječilo vanjsko zagađenje od invazije, potrebno je održavati unutarnji pritisak (statički tlak) veći od vanjskog tlaka (statički pritisak). Održavanje razlike tlaka općenito bi trebala biti u skladu sa sljedećim principima:
1. Pritisak u čistim prostorima trebao bi biti veći od one u čistim prostorima.
2. Pritisak u prostorima s visokim nivoima čistoće trebao bi biti veći od one u susjednim prostorima s niskim nivoom čistoće.
3. Vrata između čistih prostorija trebaju se otvoriti prema sobama sa visokim nivoima čistoće.
Održavanje razlike tlaka ovisi o količini svježeg zraka, koji bi trebao biti u mogućnosti nadoknaditi curenje zraka iz jaza pod ovom razlikom u tlaku. Dakle, fizičko značenje razlike tlaka je otpor protoka zraka (ili infiltracije) protoka zraka kroz različite praznine u čistoj sobi.
Vrijeme objavljivanja: jul-21-2023