Zaštiti životne sredine se posvećuje sve više pažnje, posebno sa porastom izmaglice.Inženjering čistih soba je jedna od mjera zaštite okoliša.Kako koristiti inženjering čistih prostorija za dobar posao u zaštiti životne sredine?Hajde da razgovaramo o kontroli u inženjeringu čistih prostorija.
Kontrola temperature i vlažnosti u čistoj prostoriji
Temperatura i vlažnost čistih prostora uglavnom se određuju na osnovu zahtjeva procesa, ali kada se ispunjavaju zahtjevi procesa, potrebno je uzeti u obzir ljudski komfor.Sa poboljšanjem zahtjeva za čistoćom zraka, postoji trend pooštravanja zahtjeva za temperaturu i vlažnost u procesu.
Generalno, zbog sve veće preciznosti obrade, zahtjevi za rasponom temperaturnih fluktuacija postaju sve manji i manji.Na primjer, u procesu litografije i ekspozicije velike proizvodnje integriranih kola, razlika u koeficijentu toplinske ekspanzije između staklenih i silikonskih pločica koje se koriste kao materijali za maske postaje sve manja.
Silicijumska pločica prečnika 100 μm izaziva linearnu ekspanziju od 0,24 μm kada temperatura poraste za 1 stepen.Stoga je neophodna konstantna temperatura od ± 0,1 ℃, a vrijednost vlažnosti je uglavnom niska jer će nakon znojenja proizvod biti kontaminiran, posebno u radionicama poluprovodnika koje se boje natrijuma.Ova vrsta radionice ne bi trebalo da prelazi 25℃.
Prekomjerna vlaga uzrokuje više problema.Kada relativna vlažnost pređe 55%, kondenzacija će se formirati na zidu cevi za rashladnu vodu.Ako se dogodi u preciznim uređajima ili strujnim krugovima, može uzrokovati razne nezgode.Kada je relativna vlažnost 50%, lako je zarđati.Osim toga, kada je vlažnost previsoka, prašina koja se zalijepi na površinu silikonske pločice bit će kemijski adsorbirana na površini kroz molekule vode u zraku, što je teško ukloniti.
Što je veća relativna vlažnost, to je teže ukloniti adheziju.Međutim, kada je relativna vlažnost ispod 30%, čestice se također lako adsorbiraju na površini uslijed djelovanja elektrostatičke sile, a veliki broj poluvodičkih uređaja je sklon kvaru.Optimalni temperaturni raspon za proizvodnju silicijumskih pločica je 35-45%.
Zračni pritisakkontroluu čistoj sobi
Za većinu čistih prostora, kako bi se spriječila invazija vanjskog zagađenja, potrebno je održavati unutrašnji tlak (statički pritisak) viši od vanjskog tlaka (statički pritisak).Održavanje razlike tlaka općenito treba biti u skladu sa sljedećim principima:
1. Pritisak u čistim prostorima treba da bude veći od pritiska u nečistim prostorima.
2. Pritisak u prostorima sa visokim nivoom čistoće treba da bude veći od pritiska u susednim prostorima sa niskim nivoom čistoće.
3. Vrata između čistih prostorija treba otvoriti prema prostorijama sa visokim nivoom čistoće.
Održavanje razlike tlaka ovisi o količini svježeg zraka, koji bi trebao biti u stanju da kompenzira curenje zraka iz otvora ispod ove razlike tlaka.Dakle, fizičko značenje razlike tlaka je otpor curenja (ili infiltracije) protoka zraka kroz različite praznine u čistoj prostoriji.
Vrijeme objave: Jul-21-2023