Prinos čipa u industriji proizvodnje čipova usko je povezan s veličinom i brojem čestica zraka deponovanih na čipu. Dobra organizacija protoka zraka može uzimati čelike koje se generiraju iz izvora prašine od čiste sobe i osiguraju čistoću čiste sobe. To jest, organizacija protoka zraka u čistioj sobi igra vitalnu ulogu u prinosu proizvodnje čipa. Ciljevi koji treba postići u dizajnu organizacije protoka zraka čistog prostora su: da se smanji ili eliminira vrtne struje u polje protoka kako bi se izbjeglo zadržavanje štetnih čestica; za održavanje odgovarajućeg po pozitivnog pritiska da se spriječi unakrsno kontaminaciju.
Prema načelu čiste sobe, snage koje djeluju po česticama uključuju masovnu silu, molekularu, privlačnost čestica, protoka zraka itd.
Snaga protoka zraka: odnosi se na silu protoka zraka uzrokovanih dovodom i povratnom protokom zraka, termički konvekcijski protok zraka, umjetne agitacije i druge protoke s određenim brzinom protoka za nošenje čestica. Za čistu sobu Ekološka tehnologija kontrola, sila protoka zraka je najvažniji faktor.
Eksperimenti su pokazali da u pokretu protoka zraka čestice slijede protok zraka gotovo potpuno iste brzine. Stanje čestica u zraku određuje se distribucijom protoka zraka. Glavni efekti protoka zraka na zatvorenim česticama uključuju: protok dovoda zraka (uključujući primarni protok zraka i sekundarnog zraka), protok zraka i termički konvekcijski protok uzrokovane ljudskim protokom, i utjecaj protoka zraka na čestice uzrokovane operacijama procesa i industrijske opreme. Različite metode napajanja zraka, sučelja za brzina, operateri i industrijska oprema, inducirani pojave, itd. U čistama su svi faktori koji utječu na nivo čistoće.
1. Uticaj metode napajanja zraka
(1) brzina dovoda zraka
Da bi se osigurao ujednačen protok zraka, brzina dovoda zraka u jednosmjernoj protoku čista soba mora biti ujednačena; Mrtva zona na površini dovoda zraka mora biti mala; A pad pritiska unutar HEPA filtera mora biti ujednačen.
Brzina dovoda zraka je ujednačena: to jest neravnina protoka zraka kontrolirana je u iznosu od ± 20%.
Na površini za dovod zraka postoji manje mrtvih: ne samo da bi se avioni dio HEPA-e može smanjiti, ali što je još važnije, modularni FFU treba koristiti za pojednostavljenje suvišnog okvira.
Kako bi se osiguralo da je protok zraka vertikalni i jednosmjerni, odabir pada tlaka je također vrlo važan i potreban je da gubitak pritiska unutar filtera ne može biti pristrasan.
(2) Poređenje FFU sistema i aksijalnog sistema ventilatora
FFU je jedinica za dovod zraka sa ventilatorom i HEPA filterom. Zrak je usisan centrifugalni ventilator FFU-a i pretvara dinamički pritisak u statički tlak u zračnom kanalu. Jedva iznese Hepa filter. Tlak na dovodu zraka na plafon je negativan pritisak. Na ovaj način da se ne smije propuštati prašina u čistu sobu prilikom zamjene filtra. Eksperimenti su pokazali da je FFU sistem superiorniji od sustava ventilatora aksijalnog protoka u pogledu uniformnosti zraka, paralelizam protoka zraka i indeksa efikasnosti ventilacije. To je zato što je paralelizam protoka zraka FFU-a bolji. Upotreba FFU sistema može poboljšati organizaciju protoka zraka u čistoj sobi.
(3) Uticaj vlastite strukture FFU-a
FFU se uglavnom sastoji od ventilatora, filtera, vodiča za protok zraka i drugih komponenti. HEPA filter je najvažnija garancija za čistu sobu za postizanje potrebne čistoće koja zahtijeva dizajn. Materijal filtera također će utjecati na uniformnost polja protoka. Kada se u utičnicu za filter dodate grub filtriranje ili ploča za protok, polje izlaznog protoka može se lako napraviti ujednačeno polje.
2. Uticaj brzine sučelja različitim čistoćom
U istoj čistoj sobi, između radnog područja i neradnog područja sa vertikalnim jednosmjernim protokom, zbog razlike u brzini zraka u HEPA kutiji, u sučelju će se pojaviti mješoviti vrtložni efekt, a ovo će sučelje postati turbulentno Zona protoka zraka. Intenzitet zračne turbulence je posebno jak, a čestice se mogu prenijeti na površinu uređaja za opremu i kontaminirati opremu i vaflu.
3. Uticaj na osoblje i opremu
Kad je čista soba prazna, karakteristike protoka zraka u sobi uglavnom ispunjavaju zahtjeve za dizajn. Jednom kada oprema uđe u čistač, ljudi se kreću, a proizvodi se prevoze, postoje neizbježno prepreke organizaciji protoka zraka, poput oštrih tačaka koje strše iz mašine za opremu. Na uglovima ili ivicama, plin će se pretvoriti u turbulentno protočno područje, a tečnost u tom području neće se lako odnijeti dolaznim plinom, čime se izaziva zagađenje.
Istovremeno, površina mehaničke opreme bit će zagrejana zbog kontinuiranog rada, a gradijent temperature uzrokovat će površinu zvona u blizini stroja, što povećava akumulaciju čestica u području refliranja. Istovremeno, visoka temperatura lako će uzrokovati pobjeći čestice. Dvostruki efekat intenzivira ukupni vertikalni sloj. Poteškoće kontrole čistoće struje. Prašina od operatora u čistoj sobi lako se može pridržavati vafla u ovim mrežama.
4. Uticaj povratnog vazduha
Kada se otpor povratnog zraka prolazi kroz pod, razlikuje se, razlika tlaka, uzrokuje da se zrak prolazi u smjeru male otpornosti, a ujednačen protok zraka neće se dobiti. Trenutna popularna metoda dizajna je korištenje povišenog poda. Kada je omjer otvaranja povišenog poda iznosi 10%, brzina protoka zraka može se ravnomjerno rasporediti na unutarnjoj radnoj visini. Pored toga, stroga pažnja treba posvetiti čišćenju rada radi smanjenja izvora zagađenja na podu.
5. Indukcijski fenomen
Takozvani indukcijski fenomen odnosi se na fenomen stvaranja protoka zraka u suprotnom smjeru do ujednačenog protoka, izazivajući prašinu koja se stvara u sobi ili prašini u susjednim kontaminiranim područjima na doplatu, čime se prašina zagađuju za kontaminiranje važnosti. Moguće izazvane pojave uključuju sljedeće:
(1) slijepa ploča
U čistoj sobi s vertikalnim jednosmjernim protokom, zbog zglobova na zidu, uglavnom postoje velike slijepe ploče koje će proizvesti turbulentni protok i lokalni povratni tok.
(2) Svjetiljke
Rasvjetni čvorovi u čistoj sobi imat će veći utjecaj. Budući da toplina fluorescentne lampe uzrokuje porast protoka zraka, fluorescentna lampica neće postati turbulentna površina. Općenito, žarulje u čistoj sobi dizajnirane su u obliku suze za smanjenje utjecaja svjetiljki na organizaciju protoka zraka.
(3) praznine između zidova
Kada postoje praznine između pregradnih zidova ili stropova s različitim zahtjevima čistoće, prašina iz područja sa niskim zahtjevima za čistoću mogu se prenijeti na susjedna područja sa velikim zahtjevima za čistoću.
(4) udaljenost između mehaničke opreme i poda ili zida
Ako je jaz između mehaničke opreme i poda ili zida mali, pojavit će se povratna turbulencija. Stoga ostavite jaz između opreme i zida i podignite mašinu platformu kako biste izbjegli direktan kontakt sa zemljom.
Vrijeme objavljivanja: Nov-02-2023