Prinos čipa u industriji proizvodnje čipova usko je povezan sa veličinom i brojem vazdušnih čestica taloženih na čipu.Dobra organizacija protoka zraka može odvesti čestice nastale iz izvora prašine iz čiste prostorije i osigurati čistoću čiste prostorije.Odnosno, organizacija protoka vazduha u čistoj prostoriji igra vitalnu ulogu u prinosu proizvodnje čipova.Ciljevi koji se trebaju postići u dizajnu organizacije protoka zraka čiste prostorije su: smanjiti ili eliminirati vrtložne struje u polju strujanja kako bi se izbjeglo zadržavanje štetnih čestica;održavati odgovarajući gradijent pozitivnog pritiska kako bi se spriječila unakrsna kontaminacija.
Prema principu čiste sobe, sile koje djeluju na čestice uključuju silu mase, molekularnu silu, privlačenje između čestica, silu strujanja zraka itd.
Sila strujanja vazduha: odnosi se na silu strujanja vazduha uzrokovanu protokom vazduha dovodnog i povratnog, toplotnom konvekcijom vazduha, veštačkim mešanjem i drugim strujanjima vazduha sa određenom brzinom protoka za nošenje čestica.Za kontrolu ekološke tehnologije čiste prostorije, sila strujanja zraka je najvažniji faktor.
Eksperimenti su pokazali da u kretanju protoka zraka čestice prate protok zraka gotovo istom brzinom.Stanje čestica u vazduhu je određeno distribucijom protoka vazduha.Glavni efekti strujanja zraka na čestice u zatvorenom prostoru uključuju: protok zraka dovodnog zraka (uključujući primarni protok zraka i sekundarni tok zraka), protok zraka i toplotnu konvekcijsku struju uzrokovanu hodanjem ljudi, te utjecaj strujanja zraka na čestice uzrokovan procesnim operacijama i industrijskom opremom.Različite metode dovoda zraka, brzinski interfejsi, operateri i industrijska oprema, inducirane pojave itd. u čistim prostorijama su faktori koji utiču na nivo čistoće.
1. Utjecaj načina dovoda zraka
(1) Brzina dovoda zraka
Kako bi se osigurao ravnomjeran protok zraka, brzina dovoda zraka u čistoj prostoriji s jednosmjernim protokom mora biti ujednačena;mrtva zona na površini dovoda zraka mora biti mala;i pad pritiska unutar hepa filtera takođe mora biti ujednačen.
Brzina dovoda vazduha je ujednačena: to jest, neravnomernost protoka vazduha se kontroliše unutar ±20%.
Manje je mrtvog prostora na površini za dovod zraka: ne samo da treba smanjiti ravnu površinu hepa okvira, već što je još važnije, modularni FFU treba koristiti za pojednostavljenje redundantnog okvira.
Kako bi se osiguralo da strujanje zraka bude vertikalno i jednosmjerno, odabir pada tlaka filtera je također vrlo važan, a potrebno je da se gubitak tlaka unutar filtera ne može mijenjati.
(2) Poređenje između FFU sistema i sistema ventilatora aksijalnog protoka
FFU je jedinica za dovod zraka s ventilatorom i hepa filterom.Vazduh usisava centrifugalni ventilator FFU i pretvara dinamički pritisak u statički pritisak u vazdušnom kanalu.Hepa filter ravnomjerno izduvava.Pritisak vazduha na plafonu je negativan.Na ovaj način prašina neće procuriti u čistu prostoriju prilikom zamjene filtera.Eksperimenti su pokazali da je FFU sistem superiorniji u odnosu na sistem ventilatora aksijalnog protoka u pogledu uniformnosti izlaza vazduha, paralelizma strujanja vazduha i indeksa efikasnosti ventilacije.To je zato što je paralelizam protoka vazduha FFU sistema bolji.Upotreba FFU sistema može poboljšati organizaciju protoka vazduha u čistoj prostoriji.
(3) Utjecaj vlastite strukture FFU-a
FFU se uglavnom sastoji od ventilatora, filtera, vodiča protoka zraka i drugih komponenti.Hepa filter je najvažnija garancija za čistu prostoriju kako bi se postigla zahtevana čistoća koju zahteva dizajn.Materijal filtera će takođe uticati na ujednačenost polja protoka.Kada se grubi filterski materijal ili protočna ploča dodaju na izlaz filtera, izlazno polje protoka može se lako učiniti ujednačenim.
2. Uticaj interfejsa brzine sa različitom čistoćom
U istoj čistoj prostoriji, između radnog i neradnog prostora sa vertikalnim jednosmjernim strujanjem, zbog razlike u brzini zraka na hepa boksu, na interfejsu će se pojaviti mješoviti vrtložni efekat, a ovo sučelje će postati turbulentno. zona strujanja vazduha.Intenzitet vazdušne turbulencije je posebno jak, a čestice se mogu preneti na površinu mašine opreme i kontaminirati opremu i pločice.
3. Uticaj na osoblje i opremu
Kada je čista prostorija prazna, karakteristike protoka zraka u prostoriji općenito zadovoljavaju zahtjeve dizajna.Kada oprema uđe u čistu prostoriju, ljudi se kreću i proizvodi se transportuju, neizbežno se pojavljuju prepreke organizaciji protoka vazduha, kao što su oštri vrhovi koji vire iz mašine opreme.Na uglovima ili ivicama, gas će se preusmjeriti i formirati područje turbulentnog toka, a fluid u tom području neće se lako odnijeti dolaznim plinom, što će uzrokovati zagađenje.
U isto vrijeme, površina mehaničke opreme će se zagrijati zbog kontinuiranog rada, a temperaturni gradijent će uzrokovati područje reflow u blizini mašine, što povećava akumulaciju čestica u području reflow.U isto vrijeme, visoka temperatura će lako uzrokovati da čestice pobjegnu.Dvostruki efekat intenzivira ukupni vertikalni sloj.Teškoća kontrole čistoće potoka.Prašina od operatera u čistoj prostoriji može se lako zalijepiti na pločice u ovim područjima za prelijevanje.
4. Utjecaj poda povratnog zraka
Kada je otpor povratnog zraka koji prolazi kroz pod različit, doći će do razlike tlaka, uzrokujući strujanje zraka u smjeru malog otpora i neće se postići ravnomjeran protok zraka.Trenutna popularna metoda dizajna je korištenje povišenog poda.Kada je omjer otvaranja povišenog poda na 10%, brzina strujanja zraka može se ravnomjerno rasporediti na unutrašnju radnu visinu.Osim toga, treba posvetiti strogu pažnju radovima na čišćenju kako bi se smanjio izvor zagađenja na podu.
5. Fenomen indukcije
Takozvani fenomen indukcije odnosi se na fenomen stvaranja strujanja zraka u suprotnom smjeru od ravnomjernog strujanja, inducirajući prašinu koja se stvara u prostoriji ili prašinu u susjednim kontaminiranim područjima na stranu prema vjetru, uzrokujući tako da prašina kontaminira pločicu.Mogući inducirani fenomeni uključuju sljedeće:
(1) Slepa ploča
U čistoj prostoriji s vertikalnim jednosmjernim strujanjem, zbog spojeva na zidu, uglavnom postoje velike slijepe ploče koje će proizvesti turbulentno strujanje i lokalni povratni tok.
(2) Lampe
Rasvjetna tijela u čistoj prostoriji će imati veći uticaj.Budući da toplota fluorescentne lampe izaziva porast protoka vazduha, fluorescentna lampa neće postati turbulentno područje.Generalno, lampe u čistoj prostoriji su dizajnirane u obliku suze kako bi se smanjio uticaj lampi na organizaciju protoka vazduha.
(3) Zazori između zidova
Kada postoje praznine između pregradnih zidova ili plafona s različitim zahtjevima za čistoćom, prašina iz područja s niskim zahtjevima za čistoćom može se prenijeti u susjedna područja s visokim zahtjevima za čistoćom.
(4) Udaljenost između mehaničke opreme i poda ili zida
Ako je razmak između mehaničke opreme i poda ili zida mali, doći će do povratne turbulencije.Stoga ostavite razmak između opreme i zida i podignite platformu mašine kako biste izbjegli direktan kontakt sa tlom.
Vrijeme objave: Nov-02-2023